深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司作為太陽(yáng)能電池設(shè)備的先進(jìn)企業(yè)，為實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化，提升公司在相關(guān)領(lǐng)域的自主創(chuàng)新能力和研發(fā)水平，順應(yīng)產(chǎn)品發(fā)展路徑向半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域延伸，公司的全資子公司常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司于2019年成立了半導(dǎo)體濕法工藝研究室，集合國(guó)際團(tuán)隊(duì)重點(diǎn)加強(qiáng)對(duì)集成電路濕法設(shè)備進(jìn)行研發(fā)。隨著國(guó)家近年來(lái)對(duì)集成電路的支持力度不斷加強(qiáng)、市場(chǎng)的強(qiáng)勁需求、產(chǎn)品研發(fā)的推進(jìn)，常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司于2020年9月投資成立了創(chuàng)微微電子（常州）有限公司，專門從事集成電路濕法清洗工藝設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，設(shè)備主要包含槽式及單晶圓濕法清洗設(shè)備。

截至目前，公司已取得重要客戶在槽式濕法清洗設(shè)備上的批量訂單，并于2021年7月21日成功交付3套集成電路全自動(dòng)槽式濕法清洗設(shè)備至客戶進(jìn)行大批量生產(chǎn)。同時(shí)正在設(shè)計(jì)制造中的設(shè)備還包含了用于MicroLED、第三代化合物半導(dǎo)體及集成電路IDM廠的槽式清洗設(shè)備及相關(guān)附屬設(shè)備，涵蓋了集成電路200mm以下近70%濕法工藝步驟，包含有光刻膠去除、氧化膜刻蝕、金屬膜刻蝕、爐管前清洗及有機(jī)溶劑清洗等，擁有Cassette 與Cassette less 兩種類型，覆蓋晶圓尺寸從100mm~200mm。

本次首批半導(dǎo)體清洗設(shè)備的成功交付，實(shí)現(xiàn)了公司在戰(zhàn)略路線上的再次超越，從光伏裝備設(shè)計(jì)及制造往泛半導(dǎo)體及半導(dǎo)體行業(yè)的拓展，也將成為國(guó)家集成電路裝備國(guó)產(chǎn)化新的主力軍。